Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений
Название на английском языке:
Vacuum equipment. Vapour vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 2. Measurement of ultimate pressure and critical backing pressure
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на пароструйные вакуумные насосы и устанавливает метод измерения предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений.
Рассматриваемые насосы включают в себя три класса:
- диффузионные насосы;
- эжекторные насосы;
- бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов)
