| Статус: | Действующий |
| Название на русском языке: |
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
| Название на английском языке: |
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
| Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
| Дата издания: | 21.01.1985 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
| Дата последнего изменения: | 18.05.2011 |
| Количество страниц: | 9 |
| Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
|
