| Статус: | Действующий |
| Название на русском языке: |
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки |
| Название на английском языке: |
State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
| Дата издания: | 10.02.2011 |
| Дата введения в действие: | 01.02.2008 |
| Дата последнего изменения: | 18.05.2011 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
| Количество страниц: | 11 |
| Список изменений: | №1 от 01.04.2011 (рег. 12.11.2010) «Поправка»
|
| Приложение №1: | Изменение №1 к ГОСТ Р 8.631-2007 |
|
